Reinräume für eine Hightech Branche

Fotolithografie in einem neuen Licht Schlüsselfertige Reinräume und Sauberräume der ISO Klassen 7-8 wurden kundenindividuell geplant und schlüsselfertig erstellt. In diesen Reinräumen entwickelt und fertigt der Kunde maskenlose Laser-Lithographiesysteme für die Herstellung von Mikrostrukturen. Zu den Anwendungsbereichen gehören MEMS, Mikrooptik, Advanced Packaging (3DIC), IC, Flachbildschirme (FPD), Mikrofluidik, Sensoren und andere analoge und digitale elektronische Komponenten. Die technischen Anforderungen daran waren komplex: Temperatur- und Feuchtebereiche sind zuverlässig und ganzjährig sicher zu stellen, in den Gelblichtbereichen sind nur ganz bestimmte Wellenbereiche des Lichtes zugelassen, um die empfindlichen Produkte und Prozesse nicht zu gefährden. Durch eine ausgeklügelte Kälte- und Lüftungstechnik wurden in dem Projekt die Energieverbräuche für den Kunden auf ein Minimum reduziert: mit optimierter Außenluftaufbereitung, Reduzierung der Frischluftmengen durch gezielte Überströmungen sowie modernste Regelungstechnik können die Reinraumanlagen im Volllast- und auch im Absenkbetrieb energieoptimal gefahren werden – das spart dem Kunden über die gesamte Lebensdauer bares Geld. Auch schon in der Planungsphase ist man neue Wege gegangen: das gesamte Projekt wurde mit einer neuen BIM-fähigen Software erstellt, die den Planern neue Möglichkeiten einer integrierten Planung mit allen Beteiligten eröffnet. Aber auch der Kunde hat schon Vorteile bevor der Reinraumbau überhaupt beginnt: so konnten die Mitarbeiter des Kunden - ausgestattet mit einer AR (Augmented Reality = erweiterte Realität) Brille - in der noch leeren Halle virtuell durch den späteren Reinraum gehen: die Reinraumgeometrie wird dabei dem Nutzer in das Sichtfeld eingeblendet und man kann Größenverhältnisse, Raumgefühl und Platzverhältnisse in der Realität sehen.