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Temperaturstabil beheizte Entnahmestellen und Leitungen sorgen für eine zuverlässige Versorgung bei Gasen wie z. B. Distickstoffoxid, Ammoniak oder Ko...
Durch hochentwickelte Systeme zur thermischen Konditionierung kann die Zuverlässigkeit der UHV Installationen und ungeplante Stillstandzeiten deutlich...
Durch den Einsatz von Heizmänteln für Druckgasflaschen kann die Verdampfungsenergie kompensiert und der Prozessgasfluss sicher aufrechterhalten werden...
Durch den Einsatz beheizter Druckregler, die das Einfrieren der Regelblenden und damit einhergehender Druckschwankungen vermeiden, kann somit einen re...
Vorvakuum-Verbindungen werden nicht vorrangig beheizt, um ein Verblocken des Leitungsquerschnitts zu verhindern. Es zielt hier die Beheizung im Wese...
Durch hochentwickelte Systeme zur hermischen Konditionierung können die Zuverlässigkeit der UHV-Installationen und ungeplante Stillstandzeiten deutlic...
Moderne Fertigungsverfahren erfordern immer komplexer werdende Prozessgasgemische, die oftmals zur unerwünschten Bildung von Abscheidungen neigen oder...
Schieberventile sollen die Trennung verschiedener Vakuumabschnitte sichern und dürfen keine inneren Leckagen zwischen diesen Abschnitten durch aufwach...
Der gesamte, aus vielen einzelnen Flächen bestehende, Rezipient sollte homogen ausheizbar sein, was eine sehr gleichmäßige Verteilung der eingesetzten...