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Über dieses Produkt
Besuchen Sie die ProduktseiteDer Diffusionsofen ist mit wassergekühlten INOTHERM Heizkassetten bestückt. Somit entfällt jede von Lüftersystemen und Wärmetauschern ausgehende Staubentwicklung. Die thermische Belastung des Cleanrooms wird auf ein Mindestmaß reduziert. Standardmäßige 5-Zonen-Temperaturregelung, sowie ein ausgereiftes Autoprofilingsystem gewährleisten hohe Temperaturstabilität, Reproduzierbarkeit und große Plateaulängen. Je Heizzone ist ein separates Übertemperatursystem (Thermoelement und Grenzwertmelder) integriert. Der INOTHERM-Diffusionsofen wird mit Heizkassetten für 4″, 5″, 6“, bzw. 8″-Wafer geliefert. Andere Dimensionen sind auf Anforderung ebenfalls erhältlich.
Schlagworte
DiffusionsöfenInotherm Industriewärmegeräte GmbH
Hauptstrasse 22-24, DE-85664 Hohenlinden
Lieferung: National
Lieferantentyp
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