Laser-Interferometer Typ: ZLM - Zweifrequenz Laser Messsystem

Laser interferometrische Mess Systeme des Typs: ZLM (Zweifrequenz Laser Messsystem) ZLM 700 (einachsige Messaufgaben) ZLM 800 (mehrachsige simultane Messaufgaben) ZLM 900(ein oder mehrachsige Messaufgaben für Fasergeführte Systeme) diverse modulare Komponenten im Baukastensystem für Ihre spezifische Messaufgaben. Geeignet für Position und –Winkelmessung für bis zu 6 Freiheitsgraden, Ebenheitsmessung, Kalibrieraufgaben, zeitliche Abbildung (Geschwindigkeit, Beschleunigung), Schwingungsanalyse, Einbausysteme (Anwender nutzen unsere Systeme für z.B.: Elektronenstrahlbelichter, Wafer Stepper, Halbleiterindustrie, Kalibrierlabore, Bestimmung von Bauwerksverschiebungen und Schwingungsanalyse, zur Bestimmung von Achsenabweichungen und Verfahr Fehlern von Fertigungsmaschinen und Messmaschinen für die mechanische Fertigung )