VAKUUMSTEUERUNG FÜR ORGANISCHE-ELEKTRONIK DEMO-CLUSTER
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VPD und OVPD (Organic - Vapor Phase Deposition) sind Technologien zur Herstellung organischer Elektronik wie OLEDs durch Abscheidung spezieller Halbleitermaterialien. Der Organic Electronic Cluster (OEC) basiert auf diesen Technologien und bietet eine breite Palette an Prozessmodulen, die in diesem Bereich benötigt werden.
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