Plasma-Wärmebehandlung im Vakuum durch ionisierte, reaktionsfähige Gase.
In einer Vakuum-Atmosphäre aus Stickstoff und Kohlenstoff oder anderen Gasen werden die Werkstücke im Ionenstrom einer Gasentladung auf Behandlungstemperaturen von 200 °C bis 500 °C, im Bedarfsfall auch geringer oder höher erwärmt und behandelt.