Kundenspezifisches Positioniersystem mit Stativ für OEM-Mikroskop
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stabiles Stativ aus Granit und Grauguss mit manueller Z-Verstellung leistungsfähige Schrittmotorsteuerung F9S-3-M mit Joystick und serieller Schnittstelle präziser Kreuztisch GT8 mit 200 x 200 mm Hub Drehtisch RT5 mit hoher Rund- und Planlaufgenauigkeit unter 5 µm Wafer-Chuck mit Vakuum-Ansaugung für 12", 10", 8", 6" und 4" Wafer
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