Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS

Ein Schwerpunkt der FuE-Aktivitäten am Fraunhofer ENAS ist die Entwicklung hochpräziser MEMS Drehratensensoren. Drehratensensoren sind Inertialsensore...

Mit digitalen Modellen unterstützen wir Entwicklung und Optimierung neuartiger Fertigungsprozesse der Halbleiter- und Nanotechnologie. Für viele ch...

Im Bereich Nanotechnologische Systeme und Komponenten werden Prozesse und Technologien zur Herstellung, Integration und Anwendung funktionaler Nanostr...

Das Fraunhofer ENAS bietet Forschungs- und Entwicklungsdienstleistungen auf dem gesamten Spektrum halbleiter- und nanotechnologischer Prozesse für die...

Schlüsselkomponenten des Internet of Things (IoT) sind Sensoren, welche eine oder mehrere physikalische Größen und deren Änderung aus technischen Syst...

Die Übertragung chemischer und biochemischer Analyseverfahren in mikrofluidische Systeme ermöglicht neben einer ressourceneffizienteren Nutzung von Pr...

Sensoren sind das Herzstück eines jeden miniaturisierten Analysesystems. Sie zeigen das Vorhandensein relevanter Zielsubstanzen durch Änderung einer p...

Für die Systemintegration wurden verschiedene Ansätze wie System-on-Chip (SoC), System-in-Package (SiP) oder System-on-Package (SoP), entwickelt. Neua...

Mikrofluidik findet neben klassischer Vorort-diagnostik auch in einer Vielzahl anderer Applikationen Anwendung. Die Ausgestaltung der Strukturen sowie...

Diese Technologieplattform ermöglicht die Strukturierung dünner Membranen auf Basis von Siliziumwafern oder SOI-Wafern, auch mittels Waferbonding-Verf...