Über dieses Produkt
Hoch kompakter Vakuumreaktor zur thermischen Atomlagenabscheidung (ALD) im industriellen Maßstab.
Edelstahl-Vakuumreaktor zur thermischen Atomlagenabscheidung (ALD), beheizbar bis 220°C, zur Produktion von nano-beschichteten Substraten/Pulvern im industriellen Maßstab. Ein optimiertes Design minimiert die Pumpzeit und reduziert den Präkursoren-, bzw. Spülgasverbrauch. Intuitive Bedienung über modernes HMI. Die Zyklensteuerung kann über eine In-Prozess-Restgasanalyse (RGA) oder zeitgesteuert erfolgen.