Sion RF-Detektor zur Plasmalichtbogenerkennung

NICHTINVASIVER ANKLEMMBARER RF-DETEKTOR LIEFERT SCHNELLE LICHTBOGENERKENNUNG IN iPVD, PECVD UND ÄTZPROZESSEN. Reduzierte Waferverluste und höhere Ausbeuten Lichtbögen bei der Plasmabearbeitung können zu Schäden des Targets und der Kammer mit anschließender Substratschädigung und Partikelerzeugung führen. Mit zunehmender Miniaturisierung sind mikroelektronische Geräte zunehmend anfällig für Lichtbögen-induzierte Schäden. Lichtbögen können in allen plasmagestützten Prozessen wie beispielsweise bei der ionisierten physikalischen Dampfabscheidung (iPVD), der plasmagestützten chemischen Dampfabscheidung (PECVD) und bei Ätzanwendungen auftreten. Der INFICON Sion-Lichtbogendetektor stellt eine kritische erste Verteidigungslinie dar. Mithilfe des Sion lassen sich Mikrolichtbögen schnell erkennen und entsprechende Abhilfemaßnahmen einleiten, bevor erhebliche Schäden auftreten oder Ausschuss anfällt. Das System bietet Echtzeiterkennung und Analyse von Plasmamikrolichtbögen. Merkmale: •Einfache Nachrüstung vorhandener Werkzeuge •Nichtinvasive Sensorinstallation •Hochgeschwindigkeits-Datenerfassung (250 kHz) •Integrierte Datenverwaltung mit FabGuard