Untersuchungen können sowohl an Bauteilen vor Ort oder im Labor durchgeführt werden. Folgende Verfahren / Methoden kommen dabei zur Anwendung:
licht- und elektronenmikroskopische Methoden, Abdrucktechnik, Mikrobereichsanalyse, Rauheitsmessungen
. Je nach Spezifik werden die Oberflächen vor der Untersuchung ggf. mit einer Gold- oder Kohlenstoffschicht im nm-Bereich beschichtet (z.B. Kunststoffproben, Proben aus anorganischen oder organischen Fasern oder auch aus Geweben). Die elektronenmikroskopische Darstellung der Oberfläche kann mit einem Sekundärelektronendetektor oder mit einem Rückstreudetektor erfolgen. Die Mikrobereichsanalyse kann sowohl punktuell, über eine definierte Fläche, als auch als Konzentrationsprofil über eine Linie oder als Elementverteilungsbild zwecks Darstellung von z.B. der Lage kleinster Verunreinigungen in einem betrachteten Oberflächenbereich erfolgen.