KAPAZITIVER DRUCK-SENSOR

Im Vergleich zu herkömmlichen piezoresitiven Drucksensoren mit Volumenmikromechanik weist die innovative microfab-Entwicklung zahlreiche Verbesserungen auf, darunter das außergewöhnlich kleine Bauteilvolumen von weniger als 0,4 mm³ – ein Vorteil, der völlig neue Anwendungsmöglichkeiten eröffnet. Dank des implementierten kapazitiven Messprinzips auf einem nicht leitenden Quarzglas-Substrat zeigt der Drucksensor nur extrem geringe parasitäre Effekte. Der Sensor ist besonders widerstandsfähig gegen äußere Einflüsse wie Überdruck, Temperatur oder einfallendes Licht. Bemerkenswert ist auch die hohe Empfindlichkeit des Sensors: Trotz seines breiten Messbereichs ist ein hohes Maß an Empfindlichkeit garantiert. Der oberflächenmikrobearbeitete kapazitive Drucksensor benötigt nur extrem wenig Energie für die Sensorauswertung und das konstruktive Design ermöglicht eine große Flexibilität beim Packaging.