CEM System
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Flüssigkeitsdosiersystem mit geregelter Verdampfung Das CEM-System (Controlled Evaporation and Mixing) ist ein innovatives Liquid Delivery System (LDS), das unter atmophärischen und unter Vakuum Bedingungen eingesetzt werden kann. Es besteht aus einem Flüssigkeitsmesser (Liqui-Flow), einem MFC (Gas-Massendurchflussregler), einem Mischregelventil und einem Temperaturgeregeltem Verdampfer. Das System kann eingesetzt werden für Flüssigkeiten zwischen 0,25...1200 g/h, daraus resultieren gesättigte Gasflüsse von 50 mln/min bis zu 100 ln/min. Dieses System kann Bubbler ersetzen. Mit dem CEM-System entstehen neue Möglichkeiten: Flüssigkeitsmischungen können ebenso wie feste Teile in Lösemitteln erfolgreich verdampft werden. Der Prozess ist schnell, genau, in hohem Grade wiederholbar und effektiv. Basierend auf der CEM Technologie wie oben beschrieben hat Bronkhorst ein kompaktes CEM-System, das VDM (Vapor Delivery Modules) entwickelt. Dieses System beinhaltet die Komponenten eines CEM Systems. Nebst einem Massendurchflussregler für Gas und Flüssigkeit sowie der Temperatursteuerung enthält das VDM ein integrierter Speisungsmodul inklusive einem 1.8“ TFT Display für die Kontrollfunktionen. Als Option kann eine Steuerung für eine Begleitheizung integriert werden. Das kompakte `plug and work` Modul garantiert einen (gesättigten) Dampffluss innerhalb eines Bereiches von 100 mln/min bis 10 ln/min. Es kann für atmosphärische Prozesse oder unter Vakuum eingesetzt werden. Mit dem VDM Modul entstehen neue Möglichkeiten: Flüssigkeitsmischungen können ebenso wie feste Teile in Lösemitteln erfolgreich verdampft werden.
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