Module für die Dampfbereitstellung

Module für die Dampfbereitstellung sind eigenständige Module f. Bereitstellung von ultrareinem Wasserdampf. Im Vergleich mit den Entspannungsverdampfungsgeräten bieten sie eine verbesserte Genauigkeit Module für die Dampfbereitstellung sind eigenständige Module für Bereitstellung von ultrareinem Wasserdampf. Im Vergleich mit den Entspannungsverdampfungsgeräten bieten sie eine verbesserte Genauigkeit, höhere Durchflussraten, einen weitgespannten Regelbereich und einen niedrigeren Energieverbrauch. WESENTLICHE Anwendungen: Dem Metallätzen nachfolgende Sliziumhalbleiterprozesse, Metallabtragungsprozess auf Siliziumhalbleitern, ultrareine Befeuchtung in Unterdruckumgebungen. Entdecken Sie, wie unsere Dampfbereitstellungsmodule das Potential Ihrer Prozesse freisetzen kann.