Die wichtigsten Features unserer Horizontalanlagen im Überblick:
- Wie bei unseren anderen Anlagen auch: Kundenspezifische Auslegung (Größe, Pumpleitung, etc.), Anpassung und Ausstattung der Anlage, wenn gewünscht mit Prozess(en)
- Vollautomatischer Bedampfungsprozess mit komfortabler Anlagenbedienung und Steuerung mittels Visualisierung am PC: Eingabe/ Verwaltung sämtlicher Parameter, Rezepte, etc. mit Protokollierung aller wichtiger Daten des Betriebs
- Integrierte Plasmaerzeugung durch Glimmvorrichtung zur Oberflächenaktivierung und Aktivierung organischer Precursoren, mit Frequenzgeneratoren 13,54 MHz/ 40 kHz (optional)
- Integrierte Gaseinlässe (z. B. für O2) für reaktive Prozesse, bzw. zur Plasmaerzeugung sowie weitere Gaseinlässe (optional)
- Integrierte Kältefalle zur Reduzierung der Abpumpzeiten und Erhöhung des Durchsatzes (optional)
1, 2 (oder mehrere) verbaute Verdampferbänke in der Anlage zur Erzeugung dicker Schichten oder zum Aufdampfen verschiedener Materialienin einem Prozess
- Substrataufnahme und Verdampferbank separat wechsel- und bestückbar, dabei komplette Einheit ausziehbarer zum einfachen und sicheren Be- und Entladen an der Frontseite
- Verdampfung über "Schiffchen“ bzw. "Evaporation Boats" oder Wendeln
- Verwendung von zuverlässigen, industrietauglichen Komponenten, Rezipient und Zuleitungen aus Edelstahl