Imina MICRO-Produktlinie

Positionieren Sie Sonden präzise und interagieren Sie physisch mit Proben, indem Sie miBots™ verwenden, die in optische Mikroskope, Probestations und Inspektionsgeräte integriert sind. Die Positionierungsauflösung beträgt < 100 nm. Verschiedene Plattformen passen sich an den verfügbaren Platz und die experimentellen Anforderungen an und können bis zu 8 mobile miBot™-Roboter aufnehmen. Eigenständige Probestations für entweder kleine Sonden oder Wafer können einen halbautomatischen Betrieb bieten. Kits für Mikrosondenplattformen lassen sich in vorhandene aufrechte oder invertierte optische Mikroskope, Probestations, Halbleiterinspektionswerkzeuge, AFMs oder Gloveboxen/Klimakammern integrieren. Anwendungen: + In-situ Material-Charakterisierung + Mikro/Nano Handhabung + Elektrische Transport-Messungen + REM/TEM Probenpräparation + MEMS/NEMS-Prüfung + Lokale Licht-Kollektion + Flüssigkeits-Ausgabe Typische Proben: + Transistoren + Via Chain – Teststrukturen + Nacktchips oder offene Strukturen + MEMS/NEMS + 2D Material – Bauteile + Nanodrähte und CNTs + Meso-Kristalle