Thermische Massenflussmessung und -Regelung von Teledyne Hastings Instruments

Thermische Massenflussmessung und -Regelung Wesentliche Eigenschaften*: Mess- und Regelbereiche: + Durchflussmesser: 0 – 5 sccm bis zu 0 – 15,000 slm (N2 Äquivalent) + Durchflussregler: 0 – 5 sccm bis zu 0 – 10,000 slm (N2 Äquivalent) + Hohe Messgenauigkeit: ab ±(0.2% vom Endwert + 0.5% vom Messwert) + Hohe Reproduzierbarkeit: ab ±0.05% vom Endwert + Kurze Ansprechzeiten + Geringer Durckabfall + Metall- oder Elastomer-gedichtet + Hohe Druckfestigkeit: bis zu 34 bar oder höher (68 bar optional) + Spannungsversorgung: 11-36 VDC unipolar oder bipolar (z.B. +24 VDC, ±15 VDC) + Analogausgänge: 0-5V, 0-10V, 0-20 mA, 4-20 mA + Sollwertvorgabe: 0-5V, 0-10V, 0-20 mA, 4-20 mA + Digitale Schnittstellen: RS232, RS485, USB + Mechanische Anschlüsse: Swagelok, VCR, VCO, oder Flansch + NIST-rückführbare Kalibrierung *abhängig von der Baureihe