Dosiersystem und Gasmischer
Zur Erzeugung eines konstanten Durchflusses mit einem Einzelgas oder eines Gasmischungsdurchflusses mit definierten molaren Anteilen ist das laminare Durchflussmessprinzip ideal geeignet, da es direkt volumetrisch arbeitet. Mit dem LFC-System kann der Benutzer mit einer großen Messspanne sehr stabile Einzelgasdurchflüsse erzeugen oder zwei oder mehr Gase mit einem definierten molaren Verhältnis zueinander mischen.