... Hafteigenschaften. Weitere Einsatzmöglichkeiten liegen in der Halbleiter-, der Medizin- und der Mikrosystemtechnik, wo unsere Anlagen zur Beschichtung oder zum reaktiven Ionenätzen verwendet werden.
Komplette Systeme fürdie Behandlung von und Beschichtung auf Oberflächen mittels Plasmaprozessen
- Aktivierung, Reinigung und Ätzen mit Atmosphärendruckplasma, Reaktivem Ionenätzen (RIE) und Mikrowellen...