Kühllösungen in Vakuumprozessen, Kupfer- und Edelstahlkühlkörper, für hochenergetische Anwendungen, Komplett inkl. mechanische Bearbeitung, Vakuumlöten, Laserschweißen, Reinraummontage u. Verpacken...
Anbieter von Systemen für Plasma- und Ionenstrahlprozesse, wie RIE, PECVD, PVD, IBE, IBSD. Basis sind eigenentwickelte Plasma- und Ionenstrahlquellen unterschiedlicher Konfigurationen.