Ihr Partner für Systemlösungen in der Automatisierung und Produktionstechnik.
Leistungsspektrum: Halbleitertechnik | Arbeitstische | Assistenzsysteme | Industriesteuerungen | Robotik | Linertechnik...
...TRUMPF Hüttinger Stromversorgungen für Ihren Plasmaprozess: zum Zünden und Brennen des Plasmas können DC-, Mittelfrequenz- oder Hochfrequenzgeneratoren eingesetzt werden.
Wir entwickeln und produzieren Systemlösungen für das Ätzen, Reinigen, Beschichten und Trocknen von (Halbleiter-)Substraten, sowie die hierfür erforderlichen Ver- und Entsorgungssysteme.
Anbieter von Systemen für Plasma- und Ionenstrahlprozesse, wie RIE, PECVD, PVD, IBE, IBSD. Basis sind eigenentwickelte Plasma- und Ionenstrahlquellen unterschiedlicher Konfigurationen.