Mikroanalyse mittels Elektronenmikroskopie (REM) und Energiedispersive Röntgenspektroskopie
Die Mikroanalyse mittels REM/EDX ist eine zerstörungsfreie Werkstoffanalysse. Sie ermöglicht die qualitative und quantitative chemische Elementaranalyse von Flächen ab ca. 0,5 µm Durchmesser bis mehrere Quadratmilimeter.
Typische Anwendungen sind u.a. die Untersuchung oder chemische Analyse von Partikel, die Bestimmung der Schichtstruktur (Galvanik), die Werkstoffanalyse, die Korrosionsuntersuchung, die Untersuchung von Einschlüssen usw.