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Inline Sputter - DELTALINE Serie
Über dieses Produkt
Sehr flexible F&E und Produktionsanlage für Dünnschichtprozesse durch Anwendung von:
- Heizer- und Plasmavorbehandlungen
- DC, gepulstes DC, MF und RF Sputtertechnologie
- Ideal für F&E und Produktion
- Horizontale Carrier-Anordnung
- Modulare und sehr flexible Konstruktion
- Zusätzliche, modulare Prozesskammern
- Be- und Entladestation einseitig oder beidseitig
- Vorbehandlung durch Glimmen, Heizen und Ätzen
- DC, gepulstes DC, MF und RF Sputtern
- Präzises Antriebssystem mit Positionierfunktion
- Sweep Modus, Durchlauf Modus, Stationär Modus
- Austauschbare Kathodenmodule Planar & Rotatable
- Prozessablauf vollautomatisch
- Rezeptmanagement und Prozessvisualisierung
- Datenmanagement für Prozessdokumentation
- Effektives Vakuumpumpensystem
Substratgrößen anlagenspezifisch:
1000 mm x 400 mm x 35 mm
1000 mm x 600 mm x 35 mm
1000 mm x 800 mm x 35 mm
Schlagworte
Werkzeugmaschinen
HS-Group GmbH
Porschestrasse 12, DE-63512 Hainburg
Lieferung: Weltweit
Gegründet: 2014
Mitarbeiter: 10-19
Lieferantentyp
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