Linearachse / Lineartisch (Positioniersystem)
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Linear Stages mit Hub von 10 - 2000 mm, bis 0.3 µm Wiederholgenauigkeit, bis 4000 mm/s Geschwindigkeit und 310 kg Last. Leicht integrierbar Unsere Linearachsen sind universell einsetzbar und lassen sich problemlos in den Aufbau verschiedener Applikationen integrieren z.B. den Aufbau von XY-Bewegungen, Mehrachsanwendungen, Gantry und leicht kombinierbar mit rotatorischen Achsen. Flexible Antriebskonzepte Die Linearachsen sind mit verschiedenen Motorisierungen erhältlich – je nach Anwendung kommen Schritt, DC oder AC Motoren sowie dynamische Linearmotoren zum Einsatz. Anwendungen Präzisionsscannen, Labor und Forschung, Zuführachsen für die Probenpositionierung, Laser, Inspektion, AOI, Halbleiter sowie Messtechnik Produktvarianten - Verfahrweg von 20 - 2000 mm - Wiederholgenauigkeit bis 0.3 µm - Geschwindigkeit von 10 - 4000 mm/s - Last 0.5 - 310 kg - Motoren: AC Servo, DC-Motor, Linearmotor, Piezo Motor Optionen - kundenspezifische Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker - Varianten Reinraum: bis Reinraum Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage) - Varianten Strahlung: UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage) - Varianten Magnetismus: magnetisch, magnetarm, magnetfrei - Varianten Vakuum: bis 10E-11 mbar (höher auf Anfrage)
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